水素プラズマ処理条件をベイズ最適化により決定し、局在水素によるヘテロ界面の機能強化を効率的に実現

名古屋大学　後藤和泰
名古屋大学　宇佐美徳隆
(計画研究A02)

水素の局在界面機能による太陽電池用酸化チタン／結晶シリコンヘテロ構造の高性能化に向け水素プラズマ処理を適用した。ベイズ最適化を援用することで水素プラズマ処理条件最適化における実験数の大幅な削減を達成し、局在水素によるヘテロ界面の機能強化を効率的に実現できる方法を構築した。

Shinsuke Miyagawa, Kazuhiro Gotoh, Kentaro Kutsukake, Yasuyoshi Kurokawa, and Noritaka Usami, Applied Physics Express, 14, 025503(1-5), 2021, DOI: 10.35848/1882-0786/abd869

◎本成果について、Spotlightに掲載されました。
https://iopscience.iop.org/journal/1882-0786/page/Spotlights